超凈工作臺原理

潔凈工作臺要求工作臺內(nèi)部呈正壓（工作臺內(nèi)部的壓力高于外界空氣的壓力），以防止灰塵和空氣中微生物的污染，阻擋空氣從外向內(nèi)的流動，并使用HEPA過濾器，其設(shè)計只允許經(jīng)過具有高性能除塵功能的過濾器凈化的空氣進入內(nèi)部。一般除塵效率在99%以上。

潔凈工作臺的結(jié)構(gòu)在JIS B9922中有詳細規(guī)定。例如，除了墻壁不能剝落或生銹外，主空氣過濾器必須是HEPA或ULPA。另外，在處理酸、有機或有毒氣體時，規(guī)定結(jié)構(gòu)必須能夠按zhiding路線排出空氣，除非有協(xié)議，否則不得同時打開照明燈和殺菌燈。

性能方面，額定風速設(shè)定為0.3～0.6m/s，平均風速為額定風速的±20%，潔凈度為1～8級。在這種情況下，可確定風速由交貨方與交貨方協(xié)議。