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更新時(shí)間：2024-11-14 
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圖1. TFT液晶顯示器的TFT基板側(cè)的制造流程概述曝光設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制造現(xiàn)場(chǎng)和液晶顯示器等平板顯示器（FPD）制造現(xiàn)場(chǎng)。在半導(dǎo)體制造工藝中，以硅晶片為基板，形成氧化膜，涂敷光致抗蝕劑（感光材料），并通過光掩模用從曝光裝置發(fā)出的強(qiáng)紫外線照射涂敷表面。允許通過蝕刻等去除不需要的部分。這種使用曝光設(shè)備的方法稱為光刻法。在LCD制造過程中，一般采用玻璃基板，并重復(fù)金屬薄膜沉積、光刻和蝕刻的多個(gè)循環(huán)。可以在一個(gè)基板上形成像素電極和開關(guān)元件(TFT元件等)，并且可以在另一基板上形成具有光的三基色(紅、綠和藍(lán))的濾色器。通過將兩個(gè)基板粘合在一起并在其間放置液晶材料，就完成了用于 LCD 顯示器的面板。選擇曝光設(shè)備時(shí)，需要在購(gòu)買前與設(shè)備制造商充分討論曝光所用光源的類型和精度、載物臺(tái)的精度等，因?yàn)槠鋬r(jià)格非常昂貴。 
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